5-дюймовая роторная печь для нанесения покрытий методом испарения

Вакуумные фланцы

• Верхний фланец с одним вакуумным портом KFD-25 и одним выходом для газа (требуется труба 1/4 дюйма) может сдвигаться вверх или вниз вручную, чтобы легко загружать и выгружать субстрат и испарившийся материал.

• Нижний фланец имеет один вакуумный порт KFD-25 с одним входом для газа (требуется труба 1/4 ") с игольчатыми клапанами.

• Фланец уплотнен двойными силиконовыми уплотнительными кольцами и может достигать макс. вакуумное давление 10E-2 Торр с помощью качественного механического насоса и 10E-5 Торр с помощью молекулярного насоса (вакуумный насос не входит в комплект, заказывается отдельно).

• На верхнем фланце установлен цифровой вакуумметр.  

• Прецизионный антикоррозионный цифровой вакуумметр входит в стандартную комплектацию.

Контроль расхода газа

Газовый смеситель с двумя поплавковыми датчиками с регулируемым диапазоном измерения 16-160 мл / м 

Нагреватель и держатель образца

• Два независимо управляемых нагревателя с регулируемым вручную зазором от 2 до 30 мм. 

• В качестве нагревательного элемента для быстрой термической обработки используются галогенные лампы 20 шт.

• Нагреватели изготовлены из нержавеющей стали с водяной холодной рубашкой, чтобы уменьшить тепловое излучение и обеспечить быстрое охлаждение.

• Диаметр 5 дюймов. Круглый держатель пластин встроен в верхний нагреватель для удержания подложки.

• В комплект входит один набор пластин из алюминия с высокой теплопроводностью или графитовых пластин (диаметр 5 дюймов × толщина 0,5 мм) (место на дне для испаряющегося материала)

• Чиллер с циркуляцией воды 58 л / мин включен для экономии источника воды

Регулятор температуры
  
 

• Два прецизионных цифровых регулятора температуры с 30 программируемыми сегментами обеспечивают независимое управление верхним и нижним нагревателями.

• Каждый контроллер имеет функцию автонастройки ПИД-регулятора для защиты нагревателей от перерегулирования и функцию аварийной сигнализации, чтобы избежать перегрева и разрыва тепловой пары.

• Интерфейс связи с ПК и программное обеспечение установлено для записи температурного профиля.

Рабочая температура

• Максимальная температура для каждого нагревателя: <= 800 ℃ .

• Максимальная разница температур между двумя нагревателями: <= 300 ℃ зависит от расстояния между двумя нагревателями:

• Расстояние 30 мм Макс. разница температур: 315 ℃  только нижняя часть нагрева

ЧАСскорость еды и охлаждения

• Нагрев: <8 ℃ / с (только обогрев одиночного нагревателя)

• Охлаждение: <10 ℃ / с (600 - 100 ℃ ) Макс.

Тепловая пара

Две термопары типа К устанавливаются отдельно на верхний и нижний нагреватели.

Рабочее напряжение

220 В переменного тока, однофазный, требуется воздушный выключатель на 60 А

Требования к мощности

9,5 кВт всего

Размеры

1085 мм Д × 680 мм Ш × 1710 мм В

Гарантия

Ограничение на один год с пожизненной поддержкой (гарантия не распространяется на расходные материалы, такие как кварцевая трубка и нагревательные лампы).